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技术成果
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项目名称  非晶薄膜与纳米材料的可控制备、性能研究与推广应用
完成单位  浙江大学
完成人  许铭
完成时间  2016-09-08
推荐部门  >郑州市人民政府技术市场管理办公室
评估报告  
联系电话  037167170769
成果简介   (1)非晶氧化物薄膜与TFT器件,自2007年开始研发,包括传统的InGaZnO和自主开发的InAlZnO、ZnSiSnO、ZnTiSnO等非晶薄膜,关键性能指标处于国际先进水平,应用于TFT器件,已研制出显示用全透明柔性TFT,正在推广应用; (2)非晶SiO2和WC薄膜,自2011年起与企业合作研发,主要用于产品的阻隔和保护涂层,已中试生产,取得经济效益。 项目成果:已获国家授权发明专利15项,发表SCI论文120余篇,形成了从基础研究到产业化应用的完整体系。包含上述成果在内的研究成果,浙江省科学技术一等奖3项
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